通常我們所指的ZR-ZO氧化鋯氧量分析儀老化是指氧化鋯檢測器的老化，主要表現在內阻升高和本底電勢增大這兩項上：
（1）內阻升高
實際運用中，氧化鋯氧量分析儀老化引起的內阻增大較多。內阻是指信號線兩端間的輸入電阻，它是引線電阻、電極與氧化鋯間界面電阻及氧化鋯體積電阻三部分之和，因此，電極揮發、電極脫落和氧化鋯電解質的反穩，都將引起內阻升高。測量檢測器內阻，可以判斷其老化情況。根據經驗，當內阻增大到接近其使用極限時，將出現信號大跳動現象，有些反應為響應遲緩的現象。對于這些檢測器，其本底電勢不一定很大。
（2）本底電勢增大
本底電勢是電池附加電勢。引起本底電勢增大的因素有兩種：一種屬于永存因素，它寄生的電池上，電池不對稱因素;另一種屬于暫存因素，如電極各灰、空氣對流差等因素，一旦條件改善，本底電勢便可降低。
本底電勢的變大，往往反映檢測器的老化程度，當E0值超過分析儀的調節量時，就說明檢測器已經損壞。
需要注意的是，有些檢測器的老化表現在本底電勢變大上，而有些檢測器雖然老化，但卻沒有這種現象，所以我們需要認真分析對待。當本底電勢變大的原因是由暫存因素引起時，隨著使用時間的推移，則有可能出現本底電勢先變大，再變小的現象。
由于本底電勢增大而導致探頭老化的數量比內阻增大數量要少，單純本底增大，一般不會出現信號跳動大的現象。
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