微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因導致的測量結果不準確。
在實際使用中，微量氧分析儀需要測試低氧含量對整個測試氣路的條件是有要求的，具體是氧傳感器在氣室內、四通閥內的空氣要被完全置換干凈，由于微量氧分析儀是個系統儀器，氧傳感器在內部由于透氣膜的問題會導致吸附大量空氣，所以老化和置換非常重要。
在使用儀器時，首先要進行吹掃，建議使用高純氮氣進行吹掃。切勿使用高氧含量較高的氣體進行吹掃，微量氧分析儀的傳感器和檢測常量氧、高純氧的傳感器不同，氧含量過高會降低微量氧分析儀傳感器的壽命。
具體判斷是否老化到位的前提是，當測量氣體將氧含量通到1PPM以下后，去做24小時靜置處理，觀察上漲數據情況，當出現氧含量下降的情況，即可認為老化到位。微量氧分析儀的測量位應盡可能與測量點接近，以避免過長的管線和過多的不確定因素，影響測量數據的可靠性。
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