由于氧氣傳感器是長時間在線檢測的，煤等設備（燃燒爐或窯爐）的爆炸會產生氣體等高度，導致測量值精確的時間，必須定期吹掃測量。氧氣分析儀具有相應的功能或氧傳感器的維護裝置。如果沒有這種裝置，只能安裝一個手動閥來控制壓縮。
(1)在吹掃過程中，氧傳感器的氧原子會下降，可能會下降到1、2MV。此時，檢測到的氧原子不是爐內氣氛。這一點要注意；
(2)空掃過程中氧傳感器的氧基礎輸出值沒有氧勢值下降，說明風量太高，積塵一直沒有清除干凈。吹掃管道，吹掃可能堵塞；
(3)吹掃口的通道直接與爐子吹相連。吹掃完成后，應關閉，堵住掃孔，防止負壓空氣進入爐子，影響傳感器的檢測。
通過檢測氧離子，與正常使用時的值進行比較。
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