通常我們所說的氧化鋯分析儀檢測器（探頭）老化是指氧化鋯傳感器的老化，主要表現在內阻升高和本底電勢增大這兩項。
一、內阻升高實際運用中，探頭老化引起的內阻增大較多。內阻是指信號線兩端間的輸入電阻，它是引線電阻、電極與氧化鋯間界面電阻及氧化鋯體積電阻三部分之和，因此，電極揮發、電極被污染、電極脫落和氧化鋯電解質的反穩(由穩定氧化鋯變為不穩定氧化鋯)，都將引起內阻升高。測量檢測器內阻，可以判斷其老化情況。根據經驗，當內阻增大到100歐以上，將出現信號大跳動現象以及響應遲緩的現象。
對于這些檢測器，其本底電勢一般都會出現-2MV以上，同時低含量氧情況下，通常電勢信號低于理論值，而且偏差極大。
二、本底電勢增大，本底電勢是電池附加電勢。引起本底電勢增大的因素有兩種：一種屬于永存因素，它寄生在電池上，如so2和so3的腐蝕作用、電池不對稱因素；另一種屬于暫存因素，如電極積灰、空氣對流差等因素，一旦條件改善，本底電勢便可降低。本底電勢的變大，往往反映檢測器的老化程度。
三、某種特定情況下，內阻變大而電勢不變，通標氣情況下電勢完全滿足標氣值，此種情況的氧化鋯分析儀檢測器（探頭）只是反應速度慢而已，對實際測量并無影響，所以，需要區別對待。
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